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隨機(jī)掩模光柵被劃分為眾多方形單元，每個(gè)單元中光柵結(jié)構(gòu)的存在與否呈隨機(jī)分布，而整個(gè)光柵的物理結(jié)構(gòu)保持一致。沿出瞳擴(kuò)展方向逐步提高光柵結(jié)構(gòu)的存在概率，即可實(shí)現(xiàn)衍射效率的梯度分布，其效果與傳統(tǒng)多子區(qū)域光柵一致，但無(wú)需設(shè)計(jì)多種光柵結(jié)構(gòu)，大幅降低了設(shè)計(jì)與制造難度。